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旋片式真空泵的工作原理說(shuō)明 |
旋片泵工作原理圖
1-泵體;2-旋片;3-轉(zhuǎn)子; 4-彈簧;5-排氣閥 |
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雙級(jí)旋片式真空泵由兩個(gè)工作室組成,兩室前后串聯(lián),同向等速旋轉(zhuǎn),Ⅰ室是低真空級(jí),Ⅱ室是高真空級(jí),被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入Ⅱ室,當(dāng)進(jìn)入的氣體壓力較高時(shí),氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮,壓強(qiáng)急速增大,被壓縮的氣體不僅從高級(jí)排氣閥排出,而且經(jīng)過(guò)中壁通道,進(jìn)入Ⅰ室,在Ⅰ室被壓縮,從低級(jí)排氣閥排出;當(dāng)進(jìn)入Ⅱ室的氣體壓力較低時(shí),雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮,也推不開高級(jí)排氣閥排出,氣體全部經(jīng)中壁通道進(jìn)入Ⅰ室,經(jīng)Ⅰ室的繼續(xù)壓縮,由低級(jí)排氣閥排出,因此雙級(jí)旋片式真空泵比單級(jí)旋片式真空泵的極限真空高。 | ||||
雙級(jí)旋片式真空泵工作原理圖 1-高級(jí)排氣閥;2-通道;3-低級(jí)排氣閥 |
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